产品描述
新设备：18英寸 晶圆搬运设备；制造商：菲科（PHT）
简介:硅片储存容器转移到储存容器。
18英寸自动搬运，可以将晶圆安全、洁净地移动。
驱动单元的门是互锁的，以防止因疏忽而造成事故。
可以使用触摸面板设置各种条件。
可以使用触摸面板设置从顶部存储和从底部存储的传输条件
规格:
安装环境:200V/Φ3+E/40A
驱动部分:伺服电机
设备材料:PVC盖+SUS钣金盖
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