多功能蒸镀装置

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产品描述

新设备:多功能蒸镀装置;制造商:日本制造商
概要:利用化学反应沉积膜的方法的CVD装置。
装置结构:石英管用真空室、石英管、电炉/控制电源、真空计、排气系统。
规格:
1、可变温度范围:200℃~1000℃
2、石英管尺寸:φ80~200
3、供电:200V
4、到达真空度:1×10-5Pa以下
5、偏置电源:0~500V
选配:质谱仪、质谱仪用差动排气室。

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