产品描述
新设备：300 mm晶圆自动清洗设备制造商：中科集芯（）。CSCC）
简介：300。mm晶圆自动清洗装置为玻璃基板盒型批量式清洗装置。，300。mm。
规格：
1、晶片尺寸：～φ300 m/m
2、HEPA或者ULPA：内置过滤器
3、机器人：伺服电机
4、药液槽：摇动、超声波清洗、兆频超声波
5、冲洗槽：起泡、QDR、电阻率计设置
6、干燥：S/D
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