产品描述
8英寸 晶圆搬运设备 PWT2002 制造商:PHT菲科半导体 简介
采用了清洁机器人的系统。
8英寸(200mm)的晶圆,以1枚为单位,从容器A移动至容器B。
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the Future 规格
以对应的容器为PP・PFA。
一般标准为以1枚为单位进行转移,
但也可以以5枚、25枚为单位进行转移。详情根据客户规格制定
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