产品描述
设备名称：SEM缺陷检测机
商品编号：1586936466-984488
制造商：阿斯麦（ASML）
型号：HMI eScan310
设备尺寸(W × D × H)：1,800 × 1,600 × 2,550mm
设备重量：约822kg（净重：699kg）
工作尺寸：300mm FOUP and 200mm SMIF
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