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FIB-SEM三束系统

所属分类：

二手设备仪器

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产品描述

设备名称：FIB-SEM三束系统
商品编号：T00433
制造商：日立（HITACHI）
型号：NX2000
年份：2017年
主な仕様：自動u-Sシステム、MGS2 3リザアーバ(C,W,Pt)、Ar鏡筒複数ガス種対応システム、Swingシステム、マイクロサンプリングシステムMPS-IV(4軸)、ダブルチルトシステム、200mmウエハー用試料ホルダー、垂直水平TEM加工用試料台、連続A-TEM2、冷却水循環装置
FIB-SEM三束系统
概述：追求最完美的TEM样品制备工具、在尖端设备及高性能纳米材料的评价和分析领域，FIB-SEM已成为不可或缺的工具。近来，目标观察物更趋微细化；更薄，更低损伤样品的制备需求更进一步凸显。日立高新公司，整合了高性能FIB技术和高分辨SEM技术，再加上加工方向控制技术以及Triple Beam＊1（选配）技术，推出了新一代产品NX2000
规格：、项目、内容
1、FIB镜筒
2、分辨率：4 nm @ 30 kV、60 nm @ 2 kV
3、加速电压：0.5～30 kV
4、束流：0.05 pA ～ 100 nA
5、FE-SEM镜筒
6、分辨率：.8 nm @ 5 kV、3.5 nm @ 1 kV
7、加速电压：0.5～30 kV
8、电子枪：冷场场发射型
9、探测器
10、标准探测器：In-lens 二次电子探测器/样品室二次电子探测器/背散射电子探测器
11、样品台：X：0 ～ 205 mm、Y：0 ～ 205 mm、Z：0 ～ 10 mm、R：0 ～ 360°连续、T：-5 ～ 60°
选购件：Ar/Xe离子束系统、 Micro-sampling＊3系统、缺陷检测设备联用软件、CAD联用导航软件、 EDS（能谱仪）、 TEM样品精加工向导、 TEM样品厚度管理软件、连续A-TEM、实时画质优化系统、Swing加工功能（用于Triple Beam＊1）、等离子清洗机、真空转移机构、冷台