TDDB(氧化膜变介电击穿)

简介:评估氧化膜的可靠性:氧化膜的可靠性评估是与LSI的可靠性相关的评估,LSI的高密度和高性能正在增加。该系统在降低绝缘氧化膜的耐受性方面发挥着重要作用...

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产品描述

新设备:TDDB(氧化膜变介电击穿)评价系统、制造商:日本制造商
简介:评估氧化膜的可靠性:氧化膜的可靠性评估是与LSI的可靠性相关的评估,LSI的高密度和高性能正在增加。该系统在降低绝缘氧化膜的耐受性方面发挥着重要作用,包括晶圆、玻璃基板和封装水平的薄膜化,以及氧化膜的特性和平坦化引起的故障原因。
功能;故障判定功能、预先设定故障判定的漏电流值 ,停止对超过该值的PV模块施加高电压。快速泄漏检测功能、以20msec的测量速度检测泄漏电流。它还检测泄漏电流的突然变化。慢电压可控功能、为了在高电压上升时抑制光伏模块的负载,通过逐步提高电压来降低负载。
主要规格:
电压/电流施加范围:-50V ~+50V /-100mA ~+100mA
分辨率:1mV步进/1pA步进
电压/电流测量范围:-50V ~+50V /-100mA ~+100mA
SMU数:36SMU单位(最大324个SMU)

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