低温探针装置

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产品描述

新设备:低温探针装置、制造商:日本制造商
概述:将针(探针)放在晶片上并通电,以确认它是否正常工作。作为本装置的特征,在探针时,具有能够从料台的下部向试样进行光照射的机构。可选,LN2 90K规格阶段,LHe10K规格阶段。
规格:温度范围:400K~90K以下,样品大小:30 mm×30发表,t=0.6参与,1.0 mm
装置構成:
真空探测器低温恒温器80K:内置脉冲管制冷机
用于探测器的XYZ工作台(定位器)
隔振台的腔室
温度控制器(温度控制器)
校准:Si传感器
排気系
观察系统:显微镜系统

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