产品描述
新设备：有机电子器件制造设备、制造商：日本制造商
简介：本设备是一种用于制造有机电子器件的高真空成膜设备。它由三个真空成膜室组成：有机蒸镀室、金属蒸镀室和负载锁定室。真空成膜室成膜室排列成一列，背面连接着向循环装置输送容器、带手套箱的惰性气体循环装置。在各成膜室·搬送容器之间设置有闸阀，能够在不暴露于大气的情况下搬运基板。
仕様：
有机蒸镀室·金属蒸镀
大小：550(W)×600(H)×550(D)左右[买]
材質：SUS304
到達真空度：1×10-5Pa以下
表面処理：G.B.B処理
排气系统：涡轮分子泵+旋转泵、辅助阀、排气管道部件
负载锁定室：
大小：250(W)×450(H)×250(D)左右[郑]
到達真空度：1×10-4Pa以下
表面処理：G.B.B処理
排气系统：涡轮分子泵+旋转泵、辅助阀、排气管道部件
蒸镀源：通电加热式蒸镀源[有机蒸镀室：8式·金属蒸镀室：4式]，带屏蔽的蒸镀板·蒸镀源用挡板
构成：有机蒸镀室、金属蒸镀室、通电加热式蒸镀源、负载锁定室、基板旋转机构、各真空成膜室要真空计、各真空成膜室用排气系统、基板搬送机构、台架、控制系统。
可选：触摸面板遥控，手套箱，运输室室，基板加热机构
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