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光伏电池卧式炉

所属分类：

二手设备仪器

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产品描述

新设备：光伏电池卧式炉、制造商：日本制造商本装置
简介：适合太阳能电池制造的卧式炉。对应于100~156角晶片，可以进行一批200~400张的大量处理。
特点：国内顶级市场占有率丰富，支持100 mm~156 mm方形晶片，每批200~400片(均热长度，晶圆间距)，LGO加热器搭载，可快速升降温度和节能。
规格：125 mm见方、156 mm见方的太阳能光伏电池、Φ150 mm、Φ200 mm的晶圆尺寸，适用于太阳能电池制造的卧式炉。使用氯化磷(POCl3)、三溴化硼(BBr3)等进行磷扩散、硼扩散、馅饼氧化、湿氧化、干氧化、退火等结晶处理。
本体寸法(mm)：850(W)×6700(L)×2500(H) (3段炉)
加热器：LGO加热器
均熱長(mm)：1000
温度控制：3-5区
运输设备：船装载机
应用：氧化和扩散(磷扩散，硼扩散，馅饼氧化，湿氧化，干氧化)，退火处理
加工产品：Φ75~Φ200 mm硅晶片，125 mm见方，156 mm见方PV芯