产品描述
新设备：单晶蓝宝石基板、制造商：日本制造商
简介：我们采用EFG法(Edge-defined Film-Fed Growth Method)将单晶蓝宝石提升为板状，并进行制造。通过将蓝宝石拉成板状，可以节省切割(加工)的麻烦，因此可以在短时间内准备高精度的蓝宝石基板。可支持8英寸见方的大型基板。
EFG法可以在任意的面方位上制造晶体，因此可以处理c面、r面、a面、m面等所有面方位。
此外，精密抛光将关闭角度控制在精确(0.1度或更小)。偏离角度的精密对于试料的成长培育非常重要，LED等可以得到不均匀的光源，得到了各行业制造商的好评。
除了典型的LED标准grade基板之外，我们还提供高品质的Prime grade基板。所谓Prime grade基板，是指对于高平坦：TTV<2µm、高清洗(主要金属：K Ca Ti Cr Mn Fe Co Ni Cu Zn)，通过基于全反射荧光X射线(TXRF)测定的5E10/cm2形状控制技术实现TTV、BOW、WARP等的控制，由于热膨胀系数的不同而在外延生长中发生。我们将提出一个蓝宝石衬底，以最大限度地减少翘曲等损坏。为新的工艺开发和产品开发做出贡献。广泛应用于微型LED基板、深紫外LED基板、高频器件基板、AlN生长基板、Ga2O3生长基板等。
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