产品描述
设备名称：双环磁控管PVD装置
商品编号：1589268221-978428
制造商：ROTH & RAU
型号：MicroCluster400DRM
年份：2012年
機械仕様：
1、PVD System, 4"
2、(2) DRM Chambers
3、SiO2
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