产品描述
设备名称：溅射设备
商品编号：1587367582-728148
制造商：芝浦（SHIBAURA）
型号：CFS-8EP-55
機械仕様：
1、スパッタ方式サイドスパッタ
2、スパッタ源5inch×3
3、基板テーブルφ350
4、到達圧力5×10-5Pa以下
5、排気時間10分で7×10-3Pa以下
6、排気ポンプφ8”ターボ
7、加熱温度最大300℃
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