产品描述
设备名称：小型溅射设备
商品编号: G20201
制造商：Panasonic Production Engineering
年份：2015年
装置尺寸(W × D × H):800 × 1,120 × 1,555mm
主な仕様：仕様
1、装置動作：自動制御(基板セット後)
2、処理基板サイズ：～φ8インチ基板
3、プロセスモジュール：1室
4、スパッタカソード：1基
5、ターゲットサイズ：φ200～300㎜
特徴：
1、 Φ8インチ基板/φ300mmターゲットに対応(最大)
2、簡易のロードロック室を装備(1枚投入)
3、 基板セット後の搬送/成膜プロセスは自動制御
4、 サセプタの昇降動作にてT/S距離の調整が可能
5、 当社S600/S800装置のユニットが搭載可能
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