产品描述
规格参数：
1、目标大小φ101.6×6mm
2、基板尺寸最大外径φ200mm
3、基板可安装张数1
4、飞溅电源DC电源
5、电源电压AC200v 13kvA
6、装置外寸650×1200×1400/570×820×1600
7、工作尺寸玻璃板φ200 1.1mm/晶圆8inch725nm
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