产品描述
亮点: 多功能且灵活的半自动NIL工具、薄而均匀的残留层、能够执行UV和热NIL工艺、通过工具选项高度可定制、多种UV模块选项，高达400mW/cm²。
规格参数“”
1、工具配置; EITRE工具的标准配置包括基于专有SoftPress技术的压印模块、计算机控制的用户界面、手动加载系统和用于非商业性研发的SoftPress技术许可证。
2、基板尺寸：≤152mmΦ
3、压印压力（最小）：6-8 bar（取决于CA的入口压力）
4、压印压力（最大）：80 bar
5、压印温度（最小）：环境温度
6、压印温度（最大）：250℃（200℃ UV模块）
7、压印温度设定精度：±2 deg
设施要求：
1、无尘室兼容：100级
2、室内温度：18-32℃
3、相对湿度：40-65%
4、电源：AC400V 3相 32A 50/60Hz 16kVA
5、压缩的空气：6-8 bar, 40 | / min
6、排气流量：1500-3000 | / min
系统尺寸：
1、尺寸（L×W×H）：100 × 75 × 180cm*
2、重量：约1000kg*
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