产品描述
设备名称：旋转漂洗干燥机
商品编号:：JC0292
制造商：SEMITOOL
型号：SRD-470S
设备尺寸(W × D × H)：429 × 597 × 800mm
设备重量：60Kg
产品概述 ・ 规格：规格
1、电源电压：1相100V 18A
2、频率：50/60 Hz
3、N2流量：125～216L/min
4、纯水流量：5.7～7.6L/min
5、N2、纯水管径：3/8
6、排气、机柜排气、排水管：VP20、VP30、VP20
7、晶圆尺寸：3英寸
8、控制器：PSC-101
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