产品描述
设备名称：真空蚀刻设备(ECR)
商品编号:：F42708
制造商：CANON ANELVA
型号：L-310R-E
年份：1999年12月
规格参数：
1、批量方式
2、晶圆尺寸：4寸
3、材料尺寸：100mm
4、蚀刻性能：80mm/min以上
5、精度：Φ80mm范围内5％ (用于Sio2)
6、电源：3φ 200V 80A
7、频率：50/60Hz
8、水压：0.5MPa 10L/min
9、空压：0.6MPa
10、重量：1.0t
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