产品管理

全部
产品管理
新闻资讯
介绍内容
企业网点
常见问题
企业视频
企业图册

搜索

产品管理

全部
产品管理
新闻资讯
介绍内容
企业网点
常见问题
企业视频
企业图册

搜索

首页

欧姆合金设备（高温型）

所属分类：

二手设备仪器

关键词：

联系我们

在线留言

产品描述

新设备：欧姆合金设备（高温型）：日本制造商
简介：
1、适用于宽间隙半导体（GaN、SiC等）欧姆电极合金、退火
2、使用小型特殊高温炉
3、常用温度带800～1200℃（MAX1300℃）
4、面内温度分布4英寸晶圆面内±3℃（1200℃时）（0.5 mm厚碳盘上）
5、对应基板尺寸φ3-6英寸
6、晶片搬送单片式机器人搬送（支持25片盒式磁带）
7、处理气氛惰性气体中
8、标准装置尺寸1000（W）×1,750（Ｄ）×1,450（Ｈ）
9、装置重量约950kg