产品描述
设备名称：溅射设备
商品编号：F42678
制造商：CANON ANELVA
型号：SPF-312W
年份：1990年1月
设备尺寸(W × L × H)：1,200 × 1,150 × 1,800mm
仕様：機械仕様
1、ターゲットサイズ：6インチ ターゲット数：1
2、基板サイズ：最大φ200mm
3、スパッタ用電源：RF 、基板加熱性能:300℃
4、電源：RF1.5kw 平行平板タイプ
クライオポンプ仕様
1、ターゲットサイズ：Φ75㎜ x1ケ (sio2)上面
2、基板サイズ：角105㎜ 下面
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