产品描述
设备名称：溅射设备（批量转盘）
商品编号：HB1182
制造商：CANON ANELVA
型号：SPF-730H
年份：1991年4月
设备尺寸(W × L × H)：1,500 × 1,350 × 1,950mm
设备重量：约1,100kg
仕様：機械仕様
1、ターゲットサイズ：8インチ
2、ターゲット数：3
3、基板サイズ：6インチ(仕様書記載サイズ)
4、スパッタ用電源：RF電源1.5kw
5、基板加熱性能：最高300℃
6、サブストレート取付部サイズ：Φ500
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