产品描述
设备名称：溅射设备
商品编号：HC0053
制造商：CANON ANELVA
型号：SPC511C
设备尺寸(W × L × H)：2,700 × 1,400 × 1,730mm
仕様：機械仕様
1、ターゲットサイズ：φ50 ターゲット数：1
2、基板サイズ：3インチ
3、基板取付可能枚数：36(取説より現物未確認)
4、クライオポンプ：アネルバ(CAP-120MarkⅡ)
5、ロータリーポンプ：アルカテル(2063)
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