产品描述
设备名称：溅射设备
商品编号：I70654
制造商：ULVAC
型号：SME-200
年份：2003年6月
尺寸(W × L × H)・重量：
1、本体1,040 × 2,640 × 2,129mm 约1,800kg
2、机架580 × 1,049 × 1,992mm 约700kg
3、冷水机450 × 650 × 1,265mm 约140kg
4、变压器400 × 600 × 500mm 约100kg
仕様：機械仕様
1、ターゲットサイズ：φ300mm×5t ターゲット数：1
2、基板サイズ：8インチ
3、基板取付可能枚数：1
4、スパッタ用電源：RF電源3kw
5、最高基板温度：800℃
6、チラー：HYW2045W-S34
7、ROTARY PUMP：D-650DK（2台）
8、BOOSTER PUMP：001CM
9、TMP PUMP：TMP-1003LM
10、TMP PUMP：TMP-303LM
11、RF GENEATOＲ：RFS-1330A
12、操作圧力：スパッタ室 0.4~10Pa
13、チャンバー到達圧力：カセット室 1.47E-4Pa、スパッタ室 2.51E-5Pa
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