产品描述
设备名称：薄膜应力测量装置
商品编号：T00397
制造商：KLA
型号：FLX-2320
年份：1998年7月
设备尺寸(W × D × H)：560 × 460 × 470mm
设备重量：约46kg
機械仕様：仕様
1、電源電圧：1相 230V 15A
2、周波数：50 Hz
3、サンプルサイズ：4～6inウエハ
4、測定速度：150mmウエハで5秒
5、1走査最大点：1250点
6、温度範囲：室温～500℃
7、光源：波長670nm 4mw、波長750nm 4mw
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