产品描述
设备名称：溅射设备
商品编号：H80246
制造商：CANON ANELVA
型号：L-430S-FHL
年份：1999年12月
尺寸(W × L × H)・重量：
1、本体2,251 × 820 × 1,942mm 约900kg
2、操作板570 × 1,010 × 1,845mm 约200kg
3、电源560 × 705 × 1,791mm 约100kg
4、低温压缩机约100kg
5、RP约60kg
仕様：機械仕様
1、ターゲットサイズ：φ4インチ ターゲット数：3
2、基板サイズ：150mm
3、スパッタ用電源：RF/DC電源
4、基板加熱性能：最高温度300℃
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