产品描述
设备名称：等离子蚀刻装置
商品编号：L40400
制造商：TOKYO OHKA KOGYO
型号：TCE-2400
年份：1992年3月
機械仕様：
1、搬送大気搬送 アームドライブ方式
2、適応カセット3/16ピッチ 25枚収納カセット
3、発振方式水晶発振 発振周波数13.56MHz
4、定格出力最大出力1000w
5、真空計ピラニー真空計
6、石英チャンバーΦ240×145H(下部)Φ100×389H(上部)
7、排気ダクトΦ50(真空ポンプ、オゾン排気)Φ100(本体排気、発振器)
8、真空ポンプエドワーズE2M40
9、電源3Φ200V 1Φ100V 塗装剥がれ有り
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