4轴圆柱坐标洁净机械手臂
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本产品是用于洁净室的水平多关节机器人。可进行前后（X轴）、旋转（θ轴）、上下（Z轴）+ 手动旋转（0～180°）操作，支持大气中的晶圆转移。 驱动电机为交流伺服电机，所有轴均采用绝对编码器规格。
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东莞市臻顺机电有限公司
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